视野62*62mm，量程±6.5mm；重复精度1μm
线长2.3mm，量程1.4mm，Z轴重复性0.1μm
线长10mm，量程6mm，X方向分辨率4.9μm
线长5.9mm，量程3mm，Z轴重复性0.1μm
线长5.9mm，量程2.4mm，Z轴重复性0.2μm
线长13mm，量程6mm，Z轴重复性0.15μm
线长4.3mm，量程0.7mm，Z轴重复性0.04μm
电源19V≥3A，功率55w，光耦隔离
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