光譜共焦位移傳感器
小尺寸、大量程
超大角度、高重復(fù)精度
±0.15um線性誤差
幾乎不受材質(zhì)、形狀和反光的影響
±62°的超大鏡面測(cè)量角度
僅一個(gè)控制器即可支持4通道同步測(cè)量
產(chǎn)品概述
Product Description
- 系統(tǒng)包含控制器、光纖、傳感頭
- 控制器具有出色的信噪比,適合高動(dòng)態(tài)測(cè)量任務(wù)。優(yōu)異的表面補(bǔ)光技術(shù)可以快速調(diào)節(jié)曝光時(shí)間,適應(yīng)快速變化表面的反光特性確保高精度測(cè)量。
- 光纖采用不銹鋼套管及特殊硅膠材質(zhì)包裹,輕松應(yīng)對(duì)拉伸負(fù)載、彎曲、側(cè)壓等復(fù)雜環(huán)境傳感頭內(nèi)不含有電子元件,杜絕發(fā)熱導(dǎo)致夾具變形,影響測(cè)量精度。
傳感頭
控制器
原理簡(jiǎn)介
Principle Introduction
一東白光(或多波長(zhǎng)混合光)經(jīng)過(guò)一個(gè)小孔,經(jīng)過(guò)鏡頭將不同的波長(zhǎng)聚焦到光軸上，色散的形成一條彩虹狀分布帶,照射到樣品上,表面部分反射光反射回去。
沒(méi)有照射在光軸與物體表面交點(diǎn)的光經(jīng)過(guò)分光部件，照射在另一個(gè)小孔周圍被阻擋，無(wú)法照射到光譜分析儀，不會(huì)被干擾測(cè)量
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
Product Advantages
幾乎不受任何材質(zhì)、形狀和反光影響多種材質(zhì)亦可完成高精度測(cè)量
對(duì)各種材質(zhì)及光照條件適應(yīng)性強(qiáng)
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超大測(cè)量角度
- 良好的角度特性和極限分辨率
- 可實(shí)現(xiàn)鏡面表面士62°,漫反射表面士88°超大角度測(cè)量
- 可精確測(cè)量帶有角度或弧度目標(biāo)物的3D輪廓
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支持四通道同步測(cè)量
- 一個(gè)控制器可支持四個(gè)傳感頭
- 可實(shí)現(xiàn)低成本的高精度測(cè)量
- 提高精度,降低成本
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極小的測(cè)量光點(diǎn)納米級(jí)分辨率
- 測(cè)量光束在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)具有超高的分辨率和精度光點(diǎn)最小可至2.48um,超強(qiáng)收光能力
- 持續(xù)超小尺寸測(cè)量光點(diǎn),測(cè)量出清晰的外形輪廓
- 橫向分辨率是測(cè)量光點(diǎn)的一半,無(wú)需刻意放大光點(diǎn)尺寸,特別適合測(cè)量微小幾何結(jié)構(gòu)和輪廓變化
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每秒72000次超高速測(cè)量
- 多功能光譜共焦控制器,實(shí)現(xiàn)出色的信噪比,確保高精度高穩(wěn)定性測(cè)量
- 特別適合超高速、高動(dòng)態(tài)檢測(cè)任務(wù),實(shí)現(xiàn)72k/s業(yè)界最高測(cè)量頻率
- 快速表面補(bǔ)光技術(shù)可實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)調(diào)整照明亮度和補(bǔ)光時(shí)間,實(shí)現(xiàn)了對(duì)反光特性快速變化表面的穩(wěn)定測(cè)量
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不受空間和測(cè)量區(qū)域限制
重復(fù)最小誤差僅士0.04um
- HPS-CF系列光譜共焦位移傳感器為共焦光路,相較于普通激光位移傳感器,不容易受到空間中各個(gè)表面的反射干擾,因此無(wú)測(cè)量方向的限制,尤其在測(cè)量一些盲孔、窄縫等狹小的區(qū)域,具備獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)
- 幾乎適用于各種材質(zhì)的精確測(cè)量
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完備的SDK及一站式軟件支持服務(wù)
- 安裝簡(jiǎn)單，不受使用場(chǎng)所和用途限制
- 程序設(shè)定智能,頁(yè)面菜單簡(jiǎn)介明了，操作簡(jiǎn)單易上手
- 量身定制,售后無(wú)憂
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| 型號(hào) | 工作距離（mm） | 測(cè)量范圍（mm） | 非線性誤差(μm) | 角度特性 | 光點(diǎn)大小(μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| HPS-CFL005 | 4.06 | ±2.395 | 2.7 | ±8.2° | 25 |
| HPS-CFL007 | 6.5 | ±0.8 | 3.2 | ±10° | 50 |
| HPS-CFL008A | 9.2 | ±0.67 | 0.57 | ±15.5° | 16 |
| HPS-CFL008B | 4.1 | ±0.544 | 0.28 | ±28.2° | 13 |
| HPS-CFL010 | 7.5 | ±1.25 | 6 | ±12.5° | 60 |
| HPS-CFL010B | 4.2 | ±0.34 | 0.4 | ±30° | 13 |
| HPS-CFL015 | 14.6 | ±0.41 | 0.4 | ±20.7° | 13 |
| HPS-CFL020 | 23.435 | ±1.5 | 2 | ±18° | 13 |
| HPS-CFL025 | 43.9 | ±6 | 4 | ±8.9° | 70 |
| HPS-CFL029 | 4.238 | ±0.2 | 0.09 | ±33° | 7 |
| HPS-CFL030 | 32.5 | ±3.2 | 2 | ±13° | 52 |
| HPS-CFL033 | 16.13 | ±1.25 | 0.15 | ±30.4° | 10 |
| HPS-CFL036 | 11.3 | ±1.2 | 0.3 | ±35.23° | 12.4 |
| HPS-CFL037 | 35.9 | ±1.6 | 0.9 | ±19.2° | 37 |
| HPS-CFL040 | 24.45 | ±1.2 | 0.5 | ±23° | 28 |
| HPS-CFL041 | 48.5 | ±6 | 0.63 | ±16° | 32 |
| HPS-CFL042 | 68.45 | ±8 | 2.5 | ±11° | 65 |
| HPS-CFL043 | 7 | ±0.23 | 0.2 | ±44° | 7 |
| HPS-CFL047 | 171 | ±40 | 4.5 | ±7.7° | 30 |
| HPS-CFL052 | 51.24 | ±8.29 | 2.2 | ±15.4° | 38 |
| HPS-CFL053 | 19.98 | ±0.39 | 0.15 | ±33.4° | 3.1 |
| HPS-CFL054 | 9.83 | ±1.06 | 0.35 | ±46° | 15 |
| HPS-CFL055 | 18 | ±2 | 1.6 | ±45° | 10 |
| HPS-CFL060 | 46 | ±14 | 2.8 | ±14° | 44 |
| HPS-CFL094 | 9.09 | ±1.2 | 0.4 | ±62° | 12.8 |
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